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SurfaceTechnology GERMANY, 16. - 18. Juni 2020
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FHR.Boxx-Produktreihe

Einkammer-Sputteranlagen für die Kleinserien-Produktion

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Aussteller

FHR Anlagenbau

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Produktbeschreibung

Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.BoxxProduktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer. Als Substratträger fungiert im Rezipienten eine sich drehende
Trommel, die gegebenenfalls auch für das Heizen oder Kühlen der zumeist kleinflächigen Substrate eingesetzt werden kann. Durch Trommelrotation während des Vakuumprozesses können die zu beschichtenden Substrate an mehreren Sputterstationen vorbeigeführt werden. Insgesamt wird dabei eine gute Schichtdickenhomogenität erreicht. Auch eine Substratvorbehandlung bspw. mittels Plasmaätzen ist möglich.

Integrierbare Prozesstechnologien:
- Magnetron-Sputtern
- Plasma-Ätzen (PE)

Typische Anwendungen:
- Funktionale Beschichtungen für Sensoren
- Optischen Beschichtungen auf Leuchtmitteln
- Dekorative Beschichtungen

Produkt-Website

Halle 1, Stand D79

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